真空蒸镀的设备及工艺

浏览量: 1387 日期: 2013-08-06 09:35:04 作者: admin 来源:

  陶瓷十大品牌真空蒸镀的设备系统包括前处理设备、蒸镀机及后处理设备,其中蒸镀机是核心部分。蒸镀机由真空槽(室)、真空排气系统、燕发源及电气设备组成。真空室内有可控的加热装置及可驱动的工件夹具等。

  在某些膜层沉积过程中对膜厚需要进行动态的在线测量,这些成长中的膜层厚度仅在纳米到微米级之间。故需要特殊的测量技术。目前常用的检测方法有光干涉极值法和石英晶体振荡法。前者是基于光线垂直人射到薄膜上。通过不同波长的光的透射和反射随膜厚变化而干涉图样发生变化来进行识别的,它仅用于透明膜层检测,测量仪器主要由调制器、单色仪和光电倍增管组成。后者是基于石英晶片振荡频率随沉积膜厚而变化进行识别的,它广泛用于各种膜层的厚度测量,侧量系统由石英晶体振荡片、频率计数器、微分电路与数字电路等组成。